污染物可以定義為“任何一種無(wú)用的物質(zhì)或能量”，多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學(xué)特征來(lái)看，它可以處于離子態(tài)或共價(jià)態(tài)，可以是無(wú)機(jī)物或有機(jī)物。

　　暴露在空氣中的表面最易受到污染，污染的來(lái)源有多種，最初的污染通常是表面本身形成過(guò)程中的一部分。電動(dòng)平車原料的吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸析和干燥過(guò)程、機(jī)械處理以及擴(kuò)散和離析過(guò)程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見(jiàn)的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。

　　①油脂：加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤(rùn)滑劑、切削液、真空油脂等;

　　②水基類：操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等;

　　③表面氧化物：材料長(zhǎng)期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物;

　?、芩帷A、鹽類物質(zhì)：清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等;

　?、輶伖鈿?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物等。

　　清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級(jí)清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。

　　前期到位的清洗工作可以減少很多麻煩，避免濺控濺射鍍膜機(jī)很多小問(wèn)題的發(fā)生，對(duì)工作效率、真空鍍膜機(jī)鍍膜質(zhì)量都具有非常積極的作。可大大提高真空系統(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括：高溫、低溫、以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。